集成電路無塵車間是為了實現(xiàn)半導體設(shè)備加工工藝要求的凈化室，該無塵車間對自然環(huán)境潔凈度等級、溫度濕度、震動、ESD、AMC操縱等常有必須的規(guī)定。相對性于別的工業(yè)生產(chǎn)凈化室，集成電路生產(chǎn)制造無塵車間有總面積大、清潔等級高、溫度濕度線性度高等特性。

依據(jù)凈化室生產(chǎn)車間氣體循環(huán)系統(tǒng)特性能夠?qū)艋曳殖?種類：

循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)相互配合高效送風口系統(tǒng)軟件、循環(huán)系統(tǒng)離心風機相互配合濕試密封性系統(tǒng)軟件和FFU呼吸系統(tǒng)。

第一類：在小規(guī)模納稅人低等級規(guī)定的凈化室生產(chǎn)車間設(shè)計構(gòu)思中被運用，針對大規(guī)模高級的凈化車間則存有運作成本費過高、占有室內(nèi)空間過大等缺陷。

第二類：的設(shè)計構(gòu)思能夠考慮集成電路生產(chǎn)制造無塵車間大規(guī)模高級的規(guī)定，但運作成本費較高，而且凈化室風力、排風量調(diào)整艱難，系統(tǒng)更新更新改造艱難，因而實際操作協(xié)調(diào)能力很低。

第三類: 的FFU呼吸系統(tǒng)不但節(jié)約運作室內(nèi)空間、潔凈度等級安全系數(shù)高、運作低成本，并且實際操作協(xié)調(diào)能力很高，能夠不在危害生產(chǎn)制造的狀況下隨時隨地開展系統(tǒng)更新和調(diào)節(jié)，這種都能非常好地考慮半導體設(shè)備的要求，因而在半導體材料加工業(yè)FFU呼吸系統(tǒng)逐步形成最關(guān)鍵的清潔方案設(shè)計。

FFU呼吸系統(tǒng)的特性

全部凈化室由負壓層、加工工藝層、加工工藝輔助層和送風安全通道構(gòu)成，由FFU出示循環(huán)系統(tǒng)氣體的驅(qū)動力，將新風系統(tǒng)、送風模式混和后根據(jù)超高效送風口送進加工工藝層和加工工藝輔助層，負壓層相對性于加工工藝層為空氣壓力。除此之外，也有生產(chǎn)制造輔助區(qū)為集成電路生產(chǎn)廠務(wù)機器設(shè)備地區(qū)，包含能源供應(yīng)、汽體和化工品供貨、超純水供貨等。

集成電路生產(chǎn)制造對無塵車間自然環(huán)境的操縱有比較嚴苛的規(guī)定。不一樣的加工工藝焊錫對潔凈度等級的規(guī)定也不盡相同，比如光刻規(guī)定在1級的微自然環(huán)境下，而有機化學機械設(shè)備碾磨則只規(guī)定1000級的自然環(huán)境就能。

另一個，集成電路生產(chǎn)制造凈化車間對噪音、微振、光照強度等常有有關(guān)的要求和規(guī)定，特別是在是震動的操縱，在凈化室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計上還要進而規(guī)定。

好的凈化車間設(shè)計構(gòu)思不但能節(jié)約能源、減少運作成本費、減少人力資源資金投入，并且能夠給生產(chǎn)制造出示可以信賴的確保。在3種清潔系統(tǒng)軟件中，F(xiàn)FU呼吸系統(tǒng)運作成本費最少，潔凈度等級安全系數(shù)最大，因而集成電路凈化車間多選用FFU呼吸系統(tǒng)。而潔凈度等級規(guī)定越高，溫度濕度線性度越高而凈化室項目投資和運作成本費越高，因而在大自然環(huán)境潔凈度等級或溫度濕度規(guī)定相對性較低的狀況下，將某些重要的工藝技術(shù)布局在較高潔凈度等級或溫度濕度操縱地區(qū)內(nèi)是集成電路生產(chǎn)制造凈化車間的設(shè)計構(gòu)思發(fā)展趨勢。

集成電路生產(chǎn)制造是高耗能的產(chǎn)業(yè)鏈，而清潔空調(diào)機組的耗能則占在其中的30%左右，因而環(huán)保節(jié)能安全性的凈化室設(shè)計構(gòu)思和各種各樣能源收購設(shè)計構(gòu)思將是未來發(fā)展趨勢。

隨之集成電路生產(chǎn)技術(shù)的持續(xù)升級，集成電路生產(chǎn)制造凈化車間的設(shè)計構(gòu)思修建和環(huán)保節(jié)能自主創(chuàng)新也必須不斷提高，保障優(yōu)秀產(chǎn)品生產(chǎn)制造。

以上就是關(guān)于集成電路無塵車間設(shè)計構(gòu)思工程施工的注意事項，希望對您有幫助！

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